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APC（Automatic Pressure Control，APC）自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)插板閥應(yīng)用于真空腔室的壓力調(diào)節(jié)或真空隔斷，控制精度高，響應(yīng)速度快，震動(dòng)噪音小。
閥板作為調(diào)節(jié)元件，通過(guò)不同位置改變閥門通經(jīng)流導(dǎo)大小，控制主抽泵的有效抽速。APC控制器根據(jù)腔體容積、流量等條件自學(xué)習(xí)，自動(dòng)建立壓力控制參數(shù)。用戶上位機(jī)輸入設(shè)定工藝真空壓力，APC壓力控制器通過(guò)與壓力傳感器實(shí)時(shí)反饋腔體壓力值比對(duì)，自動(dòng)計(jì)算所需閥板位置，快速精準(zhǔn)到達(dá)預(yù)定位置并適當(dāng)微調(diào)，以獲得設(shè)定的真空壓力值。